유명 상표
901P MicroPirani and Piezo Loadlock Vacuum Pressu
절대 측정 범위
1.0x10-5 ~ 1500 Torr
차동 측정 범위
-760 에서 + 760 Torr
디지털 통신
RS485/RS232 (4800 에서 230400 Baud)
센서
MicroPirani (MEMS 열 전도도)
세트 포인트 범위
절대: 5.0x10-4 ~ 1000 Torr: 미분: -760 ~ 100 Torr
교정 가스
공기, 아르곤, 헬륨, 질소, H2, H2O 증기, CO2, 크세논, 네온
디지털 컨트롤
제로 조정, 스팬 조정, 방향, 활성화, 스위치, LED 테스트
